Tài liệu Thư viện số

Danh mục TaiLieu.VN

Thiết kế, mô phỏng cảm biến điện dung đồng phẳng đo điện môi màng mỏng không phá hủy

Bài viết này trình bày về thiết kế cảm biến điện dung đồng phẳng ứng dụng trong đo điện môi màng mỏng không phá hủy với hiệu suất cao và chi phí tối thiểu. Đồng thời để giảm thành phần ký sinh và nhiễu thông thường, cấu trúc cảm biến điện dung được thiết kế gồm một tụ điện tham chiếu và một tụ điện cảm biến.

Từ khóa: Cảm biến điện dung, Cảm biến đồng phẳng, Đo điện môi màng mỏng không tiếp xúc, Đo điện môi màng mỏng không phá hủy, Tụ điện cảm biến

8 p tvs_bci 25/08/2024 8 0

Bình luận